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ISO等級(jí)序數(shù) （N）

大于等于表中被考慮粒徑的粒子最大允許濃度（個(gè)/立方米） a

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10 b

d

d

d

d

e

2

100

24 b

10 b

d

d

e

3

1,000

237

102

35 b

d

e

4

10,000

2,370

1,020

352

83 b

e

5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

d,e,f

6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

7

c

c

c

352,000

83,200

2,930

8

c

c

c

3,520,000

832,000

29,300

9 g

c

c

c

35,200,000

8,320,000

293,000

a:此表中所有濃度是累積起來(lái)的，例如：ISO等級(jí)5，0.3μm之10,200個(gè)粒子包含所有大于等于此 粒徑的粒子。

b:這些濃度需要大的取樣體積。可以應(yīng)用順序采樣法；見附錄D。

c:極高粒子濃度的濃度限值并不適用于此表格范圍。

d:低濃度粒子的取樣和統(tǒng)計(jì)局限性與分級(jí)不適宜。

e:由于取樣系統(tǒng)存在潛在的粒子損失，對(duì)于低濃度和粒徑大于1μm的粒子來(lái)說(shuō)，樣品收集局限性 與分級(jí)不適宜。

f:為了詳細(xì)說(shuō)明與ISO等級(jí)5有關(guān)的粒徑，可以改編并使用與至少一個(gè)粒徑有關(guān)的大粒子描述符M。 (見C.7)

g:此等級(jí)僅適用于運(yùn)行中狀態(tài)。