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附錄D 高效空氣過濾器現(xiàn)場掃描檢漏方法

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D．1原理D．1．1對送、排(回)風高效空氣過濾器的現(xiàn)場檢漏，應(yīng)采用掃描法在過濾器與安裝框架接觸面、過濾器邊框與濾紙接觸面以及其全部濾芯出風面

附錄E 潔凈室綜合性能檢驗方法

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E．1風量和風速的檢測E．1．1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風量風速條件下獲得。E．1．2風量檢測前必須檢查風機運行

附錄F 潔凈室生物學評價方法

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F．1回、排風高效過濾風口微生物透過率F．1．1儀器設(shè)備和材料應(yīng)符合以下要求：1儀器設(shè)備：Φ90玻璃平皿(或塑料平皿)；空氣微生物采樣器(固體撞擊式

附錄G 潔凈室氣密性檢測方法

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附錄G潔凈室氣密性檢測方法G．1原理G．1．1保持室內(nèi)為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓

附錄H 分子態(tài)污染物的檢測

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附錄H分子態(tài)污染物的檢測 H．1分子態(tài)污染物(AMC)H．1．1分子態(tài)污染物主要包括以下四種：1酸性氣體(表示為A)：NOx、SOx、HF、HCl、H2S04等。2堿性氣體(

本標準用詞說明

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本標準用詞說明1為便于在執(zhí)行本標準條文時區(qū)別對待，對于要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1)表示很嚴格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”

引用標準名錄

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引用標準名錄1《建筑工程施工質(zhì)量驗收統(tǒng)一標準》GB503002《砌體工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB502033《漆膜附著力測定法》GB17204《色漆和清漆、漆膜的劃格

1 總 則

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中華人民共和國國家標準電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB50472-2008  條文說明1總則本規(guī)范是電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計的國家標準，適用于各種類型

2 術(shù) 語

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2術(shù)語2．0．1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

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3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求3．1一般規(guī)定3．1．1～3．1．3隨著科學技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異，以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)