潔凈室(區)設置的固定滅火設施,應符合下列規定:1 設置的自動噴水滅火系統,應符合現行國家標準《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084的有關規定。噴水強度不應小于8L/min·m2,作用面積不應小于160m2;2 設置的氣體滅火系統,應符合現行國家標準《氣體滅火系統設計規范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統設計
純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規定:1 應選擇與管道相同的材質;2 應選用密封好、結構合理、無滲氣現象的閥門;3 對純水的水質要求嚴格的產品生產工藝用純水系統,應采用隔膜閥。
各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時,氣瓶可設置在潔凈室(區)內,但應采取不積塵和易于清潔的措施。10.2.8 氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇,宜符合下列規定: 1 氣體純度大于或等于99.999999%時,應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管,閥門應采用隔膜閥;
輸送有機溶劑的管道材質,宜采用低碳不銹鋼管;輸送酸、堿類管道材質,宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統的墊片,宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。
電子產品生產用主要工藝設備,應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備,宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置獨立的檢修電源。
對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道,應采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。
14.1.1 潔凈廠房的噪聲控制,應滿足電子產品生產的要求,并應保持工作人員具有舒適、安全的環境。14.1.2 潔凈廠房的噪聲控制設計應符合現行國家標準《工業企業噪聲控制設計規范》GBJ 87的有關規定。14.1.3 潔凈室(區)的噪聲控制設計的噪聲級(空態)應符合本規范第3.2.5條的規定。14.1.4 潔凈室(區)
1 隔振臺(座)應具有足夠的剛度;2 應采用低剛度隔振設施;3 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15;4 隔振臺(座)應采取傾斜校正措施;5 隔振設施不應影響氣流流型,6 當采用空氣彈簧隔振器時,其供氣系統應進行凈化處理,并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。
附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求
① 表中房間在設備密閉性良好,并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時,應按丙類設防,否則仍應按甲類設防。② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區總面積5%時,生產類別應為乙類設防。③ 光纜外皮采用發泡塑料時,該生產線應為丙類。
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