中華人民共和國國家標準
電子工業潔凈廠房設計規范
GB 50472-2008
條文說明
1 總 則
本規范是電子工業潔凈廠房設計的國家標準,適用于各種類型電子產品生產用新建、擴建和改建的潔凈廠房設計。由于各類電子工業潔凈廠房內所生產的電子產品及其生產工藝各不相同,它們對生產環境包括空氣環境和直接與產品生產過程接觸的各類介質都有一定的要求。近年來以微電子產品為代表的高新技術發展迅速,微電子產品生產過程對生產環境要求十分嚴格,對生產過程所需高純物質——高純氣體、高純水、各類化學品的純度及其雜質含量要求更為嚴格,對微振控制、噪聲控制和防靜電控制也有嚴格的要求。因此本規范根據電子工業潔凈廠房的特點制定工程設計中應該遵循的相關規定,確保工程設計做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源,滿足電子產品生產工藝的需求。
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