怎么測試潔凈車間的空氣潔凈度?有哪些檢測內容?
潔凈室等級標準和國際標準ISO14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
一、潔凈車間的空氣潔凈度,應進行下列測試:
空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試;
靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試;
動態測試:潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試,潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
二、空態、靜態測試
檢測前,應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。
如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處,可以2~4厘米/秒的速度移動,對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。
測試內容:總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;潔凈室壓力值;層流潔凈室斷面風速和氣流流向;潔凈工作區的潔凈度;室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;潔凈室內噪聲。
潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。
三、動態測試。
在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行,測試方法同空態、靜態測試。
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