在半導體無塵車間的環(huán)境控制中，溫度和濕度是兩個核心參數(shù)。對于濕度，其影響不僅在于維持無塵車間的潔凈度，還在于防止細菌滋生、保障工作人員健康、防止靜電荷產生、防止金屬腐蝕，以及確保工藝流程的穩(wěn)定。
首先，濕度的控制對于防止細菌和其他生物污染(如霉菌、病毒、真菌、螨蟲)至關重要。在相對濕度超過60%的環(huán)境中，這些微生物可以活躍地繁殖，而在相對濕度為40%至60%的范圍內時，可以最大程度地降低細菌的影響以及呼吸道感染的風險。
其次，濕度也會影響工作人員的舒適度。相對濕度在40%至60%之間是人類感覺最為舒適的適度范圍。濕度過高會使人感到悶熱，而濕度過低則會使人感到干燥、皮膚皸裂、呼吸道不適以及情感上的不快。
此外，濕度還會影響靜電荷的產生和金屬腐蝕。在高濕度環(huán)境下，潔凈室表面的靜電荷積累會減小，這是人們所希望的結果。然而，當相對濕度低于30%時，靜電荷會更容易積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。同時，暴露在潔凈室周圍空氣中的金屬表面容易與水反應生成氧化物，從而加速金屬腐蝕。幸運的是，一些金屬(如鋁)可以與水形成一層保護性的氧化物，阻止進一步的氧化反應。然而，另一種情況是，例如氧化銅，在高濕度環(huán)境下更容易受到腐蝕。
此外，濕度的控制對于工藝流程的穩(wěn)定性也至關重要。例如，光刻膠的附著性和膨脹性會受到濕度的影響。當相對濕度為35%到40%之間時，可以最大程度地減少光刻膠附著性問題以及膨脹問題，從而確保工藝流程的穩(wěn)定性和產品的質量。
濕度對于我們人體舒適性來說，可能不會特別明顯，可是對于生產工藝往往會有很大的影響，特別是對濕度要求很高的地方，而濕度往往也是最不好控制的，這也是為什么潔凈室的溫濕度控制上，都講究濕度優(yōu)先。
總的來說，對于半導體無塵車間的溫濕度控制不能掉以輕心。隨著時間的變化，我們需要不斷回顧并理解這些實踐背后的原因和基礎，從而更好地保障無塵車間的穩(wěn)定和高效運行。
