6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
6．1 一般規(guī)定
6．1．1、6．1．2 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展很快，即使某一種電子產(chǎn)品也常常需要更新?lián)Q代或生產(chǎn)工藝調(diào)整或生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大，一些老的電子產(chǎn)品根據(jù)微型化、精密化、高可靠的要求將被淘汰，而代之以新的產(chǎn)品。電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)迅猛發(fā)展，以大規(guī)模集成電路的特征尺寸為例，已從微米發(fā)展到亞微米，現(xiàn)今正進(jìn)入納米級(jí)集成電路的研制和逐漸投入批量生產(chǎn)；再以TFT-LCD生產(chǎn)發(fā)展?fàn)顩r為例，近幾年來(lái)，我國(guó)雖然發(fā)展迅速，已建成第五代或籌建中的第五、六代生產(chǎn)線(xiàn)已有多個(gè)廠家，但在國(guó)際上已進(jìn)入第七、八代生產(chǎn)線(xiàn)的建設(shè)。所以電子工業(yè)潔凈廠房的建筑平面和空間設(shè)計(jì)必須適應(yīng)這種電子產(chǎn)品迅速發(fā)展和擴(kuò)大生產(chǎn)需要的靈活性，這里所說(shuō)的靈活性主要應(yīng)理解為：
1 要能滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的需要，實(shí)現(xiàn)在建筑面積不增加或少增加、建筑高度不改變的情況下，進(jìn)行生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)設(shè)備的調(diào)整。
2 電子工業(yè)潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間、大跨度的柱網(wǎng)，以便適應(yīng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝調(diào)整或生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大或產(chǎn)品的升級(jí)換代等需要。
3 電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系，避免因承重內(nèi)墻的固定不變，妨礙生產(chǎn)工藝或設(shè)備的調(diào)整。為了強(qiáng)調(diào)電子工業(yè)潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的特點(diǎn)，制定第6．1．2條的規(guī)定。
6．1．4 據(jù)了解近年由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施的價(jià)格高、建造昂貴，這兩部分的造價(jià)已占總造價(jià)的60％以上，有的甚至達(dá)90％以上，因此，潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性等應(yīng)與之適應(yīng)，主體結(jié)構(gòu)形式、構(gòu)造、材質(zhì)均應(yīng)選用符合安全、可靠、耐火的要求。
6．1．5 電子工業(yè)潔凈廠房的技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的設(shè)置方式大體可分為：
1 設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房。這種形式常常用于集成電路的芯片生產(chǎn)或TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房。潔凈生產(chǎn)層吊頂上部的技術(shù)夾層，一般用于凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)靜壓箱，或安裝循環(huán)送風(fēng)的空調(diào)機(jī)或FFU裝置和風(fēng)管以及動(dòng)力管線(xiàn)，層高一般約3m左右；潔凈生產(chǎn)層活動(dòng)地板和多孔板以下的下技術(shù)夾層，一般用于設(shè)置公用動(dòng)力設(shè)施及其管線(xiàn)，也是凈化空調(diào)系統(tǒng)的回風(fēng)靜壓箱，層高一般約4m。這種形式的潔凈廠房，一般規(guī)模較大，產(chǎn)品生產(chǎn)工藝連續(xù)性強(qiáng)、自動(dòng)化程度高，常常是全部或部分采用產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的自動(dòng)化傳輸裝置，所以在進(jìn)行建筑平面、空間布局和構(gòu)造設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)與工藝設(shè)計(jì)、公用動(dòng)力工程設(shè)計(jì)密切配合，充分滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要、自動(dòng)化傳輸要求和各種公用動(dòng)力設(shè)施的安裝、維護(hù)要求，作出滿(mǎn)足需要、方便運(yùn)行管理的建筑設(shè)計(jì)。這種設(shè)置型式，屬于垂直單向流或混合流潔凈室。
2 設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房。這種型式可用于各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈廠房，在潔凈室(區(qū))吊頂上部的技術(shù)夾層或潔凈室(區(qū))一側(cè)或兩側(cè)的技術(shù)夾道，主要用于安裝空氣過(guò)濾器、燈具、風(fēng)管和各種公用動(dòng)力管線(xiàn)，所以它們的建筑設(shè)計(jì)包括高度或?qū)挾鹊拇_定，應(yīng)滿(mǎn)足空氣過(guò)濾器、燈具、風(fēng)管和各種公用動(dòng)力管線(xiàn)的安裝、維護(hù)要求。這種設(shè)置型式，屬于非單向流潔凈室。
6．2 防火和疏散
6．2．1 電子工業(yè)潔凈廠房具有如下主要特點(diǎn)：①在電子產(chǎn)品如電子材料、半導(dǎo)體器件、集成電路、液晶顯示器件等的生產(chǎn)過(guò)程中需使用易燃易爆的氣體、化學(xué)品等，它們對(duì)潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅；②一些電子工業(yè)潔凈廠房的面積大、體積大，并且常常是平面布置、空間布置曲折，增加了疏散路線(xiàn)上的障礙，可能延長(zhǎng)安全疏散的時(shí)間；③潔凈廠房?jī)?nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需應(yīng)用各種類(lèi)型的精密、貴重的設(shè)備、儀器，建設(shè)投資巨大，一旦失火，將會(huì)造成極大的損失。鑒于以上主要特點(diǎn)，為了保障財(cái)產(chǎn)、人身的安全，嚴(yán)格控制電子工業(yè)潔凈廠房建筑耐火等級(jí)是十分重要的，因此作了本條規(guī)定，并為強(qiáng)制性條文。
6．2．2 本條規(guī)定．電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016分類(lèi)，并在附錄B中列出電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)的舉例。現(xiàn)對(duì)附錄B中與現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073相關(guān)舉例不同或增加的內(nèi)容說(shuō)明如下
1 電子工業(yè)潔凈廠房中，有使用丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室，這些化學(xué)品的主要性質(zhì)見(jiàn)表25。從表中數(shù)據(jù)可見(jiàn)丙酮、異丙醇等均為易燃化學(xué)品，應(yīng)屬甲類(lèi)，因此將電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)有這些化學(xué)品的儲(chǔ)存間、分配間列為甲類(lèi)。
2 電子工業(yè)潔凈廠房中，尤其在半導(dǎo)體類(lèi)潔凈廠房中常常使用H2、SiH4、AsH3、PH3等可燃、有毒氣體，從表22中所列這些氣體的主要性質(zhì)可見(jiàn)，它們均為可燃?xì)怏w、有毒氣體，因此將電子工業(yè)潔凈廠房中設(shè)有可燃、有毒氣體的儲(chǔ)存、分配間列為甲類(lèi)。
3 半導(dǎo)體器件、集成電路工廠的外延間，由于其生產(chǎn)過(guò)程中需使用H2、S1H4等可燃?xì)怏w，因此在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073附錄A中外延間列為甲類(lèi)。但是近年來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)進(jìn)步，半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造技術(shù)有了很大的提高，各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)有了很大的提高，氣體報(bào)警設(shè)施的安全可靠性也有了長(zhǎng)足進(jìn)步和提高。據(jù)調(diào)查表明半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報(bào)警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等；半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)用外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥，一旦發(fā)生事故、火情時(shí)，自動(dòng)切斷氫氣供應(yīng)；外延間按建筑特點(diǎn)在可能積聚氫氣處設(shè)置氫氣報(bào)警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安全技術(shù)措施。所以本次規(guī)范制定時(shí)，考慮到在具備上述安全技術(shù)措施的條件下，宜將半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類(lèi)。
6．2．3 從20世紀(jì)90年代末以來(lái)，我國(guó)建設(shè)了一批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房，它們的潔凈室面積和防火分區(qū)面積均大大超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的面積。這些芯片制造、TFT-LCD制造為代表的高科技潔凈廠房具有大面積、大體量的特點(diǎn)，如表18所列的國(guó)內(nèi)8″～12″芯片生產(chǎn)潔凈廠房潔凈區(qū)面積從6500m2～16000m2，第五、六代TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈區(qū)已達(dá)36000m2，第八代TFT-LCD已達(dá)90000m2。這類(lèi)潔凈廠房通常由潔凈生產(chǎn)區(qū)和潔凈生產(chǎn)區(qū)各自設(shè)有的上下技術(shù)夾層構(gòu)成，廠房高度約為20～30m。由于芯片制造、TFT-LCD制造的生產(chǎn)工藝設(shè)備體量大，制造過(guò)程的連續(xù)性和自動(dòng)化傳輸，所以生產(chǎn)工藝區(qū)是不能分隔的。為加強(qiáng)消防技術(shù)措施，在美國(guó)消防標(biāo)準(zhǔn)NFPA 318((潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中要求采用高靈敏(≤0．01％obs／m)早期空氣取樣式煙霧探測(cè)系統(tǒng)，在環(huán)境空氣中煙霧濃度很低的火情出現(xiàn)初期，探測(cè)系統(tǒng)即發(fā)出警報(bào)，相應(yīng)消防應(yīng)急系統(tǒng)即可啟動(dòng)將火情消滅在初始階段；據(jù)了解，國(guó)內(nèi)外的此類(lèi)高科技潔凈廠房都這樣設(shè)計(jì)建造，投產(chǎn)最早的已有十年以上。
鑒于上述情況，本條條文規(guī)定：“丙類(lèi)生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度小于等于0．01％obs／m的高靈敏度早期煙霧報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。”這里對(duì)這類(lèi)電子工業(yè)潔凈廠房的防火分區(qū)最大容許建筑面積所做規(guī)定的理由是：①電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確實(shí)不可分時(shí)，即由于電子產(chǎn)品工藝的連續(xù)性或生產(chǎn)過(guò)程的自動(dòng)化傳輸設(shè)備的需要，潔凈室確實(shí)不能按防火分區(qū)要求進(jìn)行分隔的電子工廠潔凈廠房，②在潔凈廠房?jī)?nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報(bào)警火災(zāi)探測(cè)器及其報(bào)警系統(tǒng)(Very Early Smoke Detection Apparayus，簡(jiǎn)稱(chēng)VESDA)或稱(chēng)空氣采樣式煙霧探測(cè)系統(tǒng)(Air Sampling Type Smoke Detection System)，這類(lèi)探測(cè)系統(tǒng)是主動(dòng)抽取環(huán)境中空氣，只要空氣中有煙霧，就能及時(shí)報(bào)警，并在火災(zāi)形成前數(shù)小時(shí)，實(shí)現(xiàn)早期報(bào)警。本條規(guī)定的靈敏度是傳統(tǒng)探測(cè)器的數(shù)百倍，做到早期發(fā)現(xiàn)，將火源消滅在初始狀態(tài)；③在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，主要是使用易引發(fā)火情的設(shè)備應(yīng)設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置。據(jù)調(diào)研表明，在集成電路芯片工廠、TFT-LCD制造工廠等使用易燃、易爆化學(xué)品、氣體的生產(chǎn)設(shè)備都設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置，為本條規(guī)定的實(shí)施創(chuàng)造了有利條件。
6．2．4 據(jù)調(diào)查資料表明，表18所列的一些電子工業(yè)潔凈廠房都是垂直單向流潔凈室。此類(lèi)潔凈室的潔凈生產(chǎn)區(qū)與下技術(shù)夾層是以多孔活動(dòng)地板和多孔混凝土板(華夫板)分隔，下技術(shù)夾層是回風(fēng)靜壓箱，并可能安裝生產(chǎn)輔助設(shè)施、各類(lèi)管線(xiàn)等。多孔活動(dòng)地板上開(kāi)孔多少視回風(fēng)量確定，其開(kāi)孔率一般在30％～50％；而華夫板上的開(kāi)孔率大于上述開(kāi)孔率，每個(gè)孔洞的直徑一般是400mm左右。下技術(shù)夾層不設(shè)崗位操作人員，其高度為2．5～5．5m。上技術(shù)夾層是送風(fēng)靜壓箱，它以基本布滿(mǎn)高效空氣過(guò)濾器或FFU和燈具的吊頂格柵與潔凈生產(chǎn)區(qū)相連。上技術(shù)夾層沒(méi)有崗位操作人員，其高度一般為2．5～5．5m。由于上述構(gòu)造特點(diǎn)和使用特性，所以美國(guó)NFPA 318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》中明確：“潔凈室包括活動(dòng)地板下的空間和吊頂格柵以上作為空氣通道的空間”，“活動(dòng)地板下方提供安裝機(jī)械、電訊或類(lèi)似系統(tǒng)，或作為送風(fēng)或回風(fēng)靜壓箱作用的空間”。潔凈室的上下技術(shù)夾層的建筑面積可不計(jì)入防火分區(qū)的建筑面積。上下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途，可作為同一防火分區(qū)。對(duì)于非單向流的技術(shù)夾層，一般均設(shè)在吊頂上部，其高度均小于2．0m，其潔凈生產(chǎn)層與吊頂上部的技術(shù)夾層均按同一防火分區(qū)進(jìn)行設(shè)計(jì)、建造。所以本條作了相關(guān)的規(guī)定。
6．2．5 電子工業(yè)潔凈廠房潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第5．2．4條、第5．2．6條的相關(guān)規(guī)定。
6．2．6 本條依據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第5．2．5條的規(guī)定。
6．2．7 本條為潔凈廠房的安全出口設(shè)置的有關(guān)規(guī)定。第1款中規(guī)定依據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073—2001中第5．2．7條的規(guī)定。
第2款安全疏散距離依據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016—2006的第3．7．4條中有關(guān)廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離不應(yīng)大于表第3．7．4的規(guī)定。第2款中，還根據(jù)潔凈廠房平面布置要求和潔凈室的特點(diǎn)，規(guī)定了“安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志”等，以利于人員的疏散。
第3款的規(guī)定是由于近年設(shè)計(jì)建造的微電子工廠潔凈廠房的大體量、大面積的實(shí)際情況，如表18中所列的5代、6代TFT—LCD液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)面積已達(dá)33000m2以上，建筑高度達(dá)26．5m，其廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離達(dá)80～120m。這類(lèi)潔凈廠房?jī)?nèi)使用可燃、易燃?xì)怏w的關(guān)鍵設(shè)備均設(shè)有火災(zāi)報(bào)警、氣體報(bào)警和C02滅火裝置；這類(lèi)廠房如前所述均設(shè)有高靈敏度早期煙霧探測(cè)系統(tǒng)，且此類(lèi)廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大、連續(xù)性生產(chǎn)、自動(dòng)化傳輸?shù)纫蛩兀率挂獙?shí)現(xiàn)廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到安全出口的距離符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定十分困難；此類(lèi)廠房中操作人員較少，人員密度極低，且人員流動(dòng)巡查。因此本款規(guī)定：“丙類(lèi)生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0．01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1．5倍。”在本款的“注”中對(duì)8代TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈生產(chǎn)區(qū)的疏散距離，推薦在人員密度小于0．02人／m2時(shí)，可按工藝需要確定，但不得超過(guò)120m。
6．2．8 由于電子工業(yè)潔凈廠房空間密閉，且設(shè)有人員凈化、物料凈化設(shè)施，一旦出現(xiàn)火情，消防人員進(jìn)入潔凈室的路徑較困難，為此本條規(guī)定潔凈室(區(qū))各層外墻應(yīng)設(shè)供消防人員通往潔凈室(區(qū))的入口。
鑒于潔凈廠房外墻上樓層的吊門(mén)、電控自動(dòng)門(mén)，一般都不能從外面開(kāi)啟，因此不能作為消防人員進(jìn)入廠房的入口；裝有柵欄的窗，由于柵欄的阻隔，影響消防人員迅速進(jìn)入廠房，也不能作為消防人員的入口。
6．2．9 制定本條的依據(jù)是：
1 在電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)不可避免地會(huì)設(shè)有現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016—2006相關(guān)規(guī)定所容許的一定規(guī)模的有爆炸危險(xiǎn)的甲乙類(lèi)生產(chǎn)部位(區(qū)域、房間等)，如高純氣體純化間、有可燃?xì)怏w的氣體入口室、特種氣體儲(chǔ)存分配間、可燃化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間等。
2 在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016—2006中明確規(guī)定，對(duì)有爆炸危險(xiǎn)的甲乙類(lèi)生產(chǎn)部位，宜設(shè)置在單層廠房外墻的泄壓設(shè)施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設(shè)施附近。
6．3 室內(nèi)裝修
6．3．1 本條規(guī)定包括三方面的內(nèi)容：
1 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修用材料，不可避免地會(huì)在溫度和濕度變化時(shí)引起變形，為確保潔凈室(區(qū))內(nèi)的潔凈環(huán)境，減少微塵產(chǎn)生、積聚，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度、濕度變化時(shí)變形小的材料。
2 潔凈室(區(qū))內(nèi)，某些電子產(chǎn)品會(huì)因化學(xué)污染物在產(chǎn)品表面沉積影響產(chǎn)品質(zhì)量或在后續(xù)生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，造成次品以至廢品，所以在潔凈室(區(qū))內(nèi)，為防止化學(xué)污染，本條規(guī)定：“潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。”在進(jìn)行潔凈室設(shè)計(jì)或建造選用裝飾材料時(shí)，應(yīng)與具體項(xiàng)目的業(yè)主方或提供生產(chǎn)工藝方進(jìn)行協(xié)調(diào)后確定。
3 潔凈室內(nèi)所選用的裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的規(guī)定。
6．3．3 制定本條文的目的除了強(qiáng)調(diào)潔凈室樓地面設(shè)計(jì)應(yīng)避免微粒的產(chǎn)生、積聚外，還規(guī)定了：
1 潔凈室(區(qū))地面應(yīng)滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和設(shè)備安裝要求。如芯片生產(chǎn)用潔凈廠房，采用垂直單向流潔凈室時(shí)，一般采用回風(fēng)活動(dòng)地板；在潔凈室(區(qū))不同部位因生產(chǎn)工藝和設(shè)備安裝的要求，尚需選用不同承載能力、規(guī)格型號(hào)各不相同的活動(dòng)地板。
2 為防止?jié)崈羰?區(qū))內(nèi)地面施工后，在使用過(guò)程發(fā)生裂縫、裂紋等，容易產(chǎn)塵和微粒積聚，為此，潔凈室地面墊層推薦采用配筋方式。
6．3．7 目前，國(guó)內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)潔凈室（區(qū))內(nèi)的墻板和頂棚基本上均采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造，各地所采用的輕質(zhì)壁板有多種形式，如夾芯彩鋼板、玻璃板、無(wú)機(jī)復(fù)合材料鋼塑板等。其中夾芯彩鋼板應(yīng)用廣泛，其夾芯材料有多種材料和構(gòu)造，如巖棉、紙蜂窩、鋁蜂窩、雙層石膏板、無(wú)機(jī)復(fù)合材料等。不論采用何種材質(zhì)，除壁板本身質(zhì)量至關(guān)重要外，輕質(zhì)壁板構(gòu)造、輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除板與板之間的雌雄槽緊密地組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。壁板之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)入室內(nèi)，同時(shí)使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r(shí)易于保持所需正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過(guò)濾器本身或高效過(guò)濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要具有良好密封性能。目前國(guó)內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便、操作簡(jiǎn)單，而且還要考慮更換高效過(guò)濾器時(shí)方便拆裝。總之，沒(méi)有經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器過(guò)濾的空氣是不允許直接進(jìn)入潔凈室。潔凈室頂棚輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力，以便施工、運(yùn)行維護(hù)時(shí)人員行走。
